Pompy Dellmeco SEMI DMS
Seria pomp Dellmeco SEMI DMS
Pompy DELLMECO serii SEMI DMS zostały specjalnie opracowane z półprzewodników dla przemysłu. Indywidualna produkcja pompy DMS w czystym pomieszczeniu klasy 100, w którym wszystkie części są czyszczone i testowane dwukrotnie wodą zdemineralizowaną. Po zakończeniu są one podwójnie uszczelnione folią.
Wszystkie części będące w serii T i SEMI SEMI H wykonane są z materiałów PTFE i TFM, obudowa E wykonana z materiału (Ultrapure UPPE polietylenu).
Zalety pompy:
- Brak części metalowych w SEMI T, H i E
- Brak elastomery O-ringi
- Smarowanie silnika pneumatycznego
- Pakowane montaż, czyszczenie w klasie 100 clean room i pakowanie podwójne hermetyczne
- Wytrzymałe membrany TFM
- Cztery materiały do różnych zastosowań, do max.200 ° C
- Części z materiału CNC
- Wiele akcesoriów, takich jak tłumik pulsacji, upływu monitorowania …
- 40% mniej części niż w konkurencyjnych produktach
